半導體光刻光源的主要供應商Gigaphoton株式會社(母公司:栃木縣小山市,董事長:浦中克己)宣布,稱已經(jīng)向韓國知名內存芯片廠家SK hynix公司供應受激準分子激光器,用于最新款的光刻裝置,以升級舊機種。
全球范圍內半導體的需求量不斷高漲,進一步提高生產(chǎn)能力是內存芯片廠家不可回避的課題。然而,歷經(jīng)15年的舊款激光器的運行成本高,維修量大,導致故障頻發(fā),達不到預期的生產(chǎn)能力。所以,改善這一系列問題,提高生產(chǎn)效率,成為急需解決的難題。
作為解決方案,Gigaphoton將舊機種升級成最新的受激準分子激光器。最新款受激準分子激光器上搭載了最新的模塊和軟件,與舊款相比,模塊壽命和信賴性大幅提高。因此,通過替換安裝在現(xiàn)有光刻裝置上的舊款激光器,既提高了光刻裝置的生產(chǎn)能力,還大幅削減了運行成本和故障時間。而且,升級更新時還提供了持續(xù)改善計劃(CIP,Continuous Improvement Program),解除了客戶對未來服務支持的不安。本次升級考慮到要在最短時間內完成,可以在SK hynix公司工廠內進行替換。
作為解決方案,Gigaphoton將舊機種升級成最新的受激準分子激光器。最新款受激準分子激光器上搭載了最新的模塊和軟件,與舊款相比,模塊壽命和信賴性大幅提高。因此,通過替換安裝在現(xiàn)有光刻裝置上的舊款激光器,既提高了光刻裝置的生產(chǎn)能力,還大幅削減了運行成本和故障時間。而且,升級更新時還提供了持續(xù)改善計劃(CIP,Continuous Improvement Program),解除了客戶對未來服務支持的不安。本次升級考慮到要在最短時間內完成,可以在SK hynix公司工廠內進行替換。
Gigaphoton董事長浦中克己評價說:“弊公司提出的激光器升級方案有效提高了現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。今后,Gigaphoton也會站在客戶的角度,提出有助于客戶以及半導體業(yè)界發(fā)展的解決方案。”
Gigaphoton公司簡介
Gigaphoton公司成立于2000年,作為一家激光器的供應商,自成立以來一直為全球的半導體生產(chǎn)廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心,從產(chǎn)品研發(fā)到生產(chǎn)、銷售及維護,為用戶提供業(yè)界最高水準的支持。更為詳細的介紹請您訪問:www.gigaphoton.com。
Gigaphoton公司成立于2000年,作為一家激光器的供應商,自成立以來一直為全球的半導體生產(chǎn)廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心,從產(chǎn)品研發(fā)到生產(chǎn)、銷售及維護,為用戶提供業(yè)界最高水準的支持。更為詳細的介紹請您訪問:www.gigaphoton.com。
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Gigaphoton株式會社
經(jīng)營企劃部
寺島克知
電話:+81-285-37-6931
郵箱:web_info@gigaphoton.com
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